·技术参数测量功能 ·最大测量直径:300mm ·最大测量高度:280mm ·最大工件重量:20kg ·工作台工作台直径:125mm ·调中心范围:±1.25mm ·调水平范围:±0.5° ·高度:51mm ·主轴 ·最大速度:15RPM ·径向误差:±25nm(当速度在6RPM时)测针 ·测量范围:2mm ·分辨率:30nm ·滤波 ·标准方式:高斯滤波 ·波长:1-15upr.1-50upr.1-150upr.15-150upr.1-500upr.15-500upr ·工作气压:0.41Mpa(气源